更新時(shí)間:2024-06-25
產(chǎn)地 | 進(jìn)口 | 加工定制 | 是 |
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質(zhì)保 | 1年 |
格里爾斯差壓式質(zhì)量流量計
GRY-56系列差壓式質(zhì)量流量計/控制器采用無(wú)熱漂移,無(wú)響應滯后的差壓質(zhì)量測量原理,可以同時(shí)顯示和輸出:瞬時(shí) 流量、累計流量、壓力、溫度等。
氣體質(zhì)量流量計和氣體質(zhì)量流量控制器的應用
大多數傳統的真空鍍膜工具使用下游壓力控制來(lái)維持真空氣體的壓力,這就需要用到氣體質(zhì)量流量計和氣體質(zhì)量流量控制器。
但是安裝節流閥可能要花費數千美元,還需要單獨的控制模塊來(lái)驅動(dòng)閥門(mén)。節流閥設置在更換氣體或等待氣體沉淀時(shí),也會(huì )造成延遲。
格里爾斯差壓式質(zhì)量流量計
性能參數:
工作溫度+10~+50℃
大工作壓力3MPa/10MPa
對安裝方式/方向的要求>1L/min量程,閥門(mén)須垂直安裝
閥門(mén)等級閥門(mén)長(cháng)閉
防護等級IP40
材質(zhì)不銹鋼
信號單色LCD顯示屏同時(shí)顯示流量、設定
數字輸出信號RS485/PROFIBUS
模擬輸入信號0-5Vdc / 4-20mA
模擬輸出信號0-5Vdc / 4-20mA
電信號接口DB15
供電電壓24-30Vdc
供電電流0.750Amp
規格測控范圍100SCCM~3000SLM
精度(調零后標準條件下)±1%F.S
重復性±1%F.S
零點(diǎn)漂移&滿(mǎn)量程漂移0.02% F.S/ ºC/Atm
工作范圍/量程可調比2% ~ F.S / 50:1
大可測流量 F.S (可控制)
典型響應時(shí)間200 毫秒(可調整)
啟動(dòng)預熱時(shí)間< 5 秒