更新時(shí)間:2024-06-25
產(chǎn)地 | 進(jìn)口 | 加工定制 | 是 |
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質(zhì)保 | 1年 |
日本科賦樂(lè )內拋光系列質(zhì)量流量控制器
日本KOFLOC5100系列質(zhì)量流量控制器-內拋光
金屬密封,泄漏率1*10-11pa·m³/s以下
內部拋光Ra≤0.1,杜絕二次污染介質(zhì)
±15VDC供電性能穩定,0-5V模擬信號更加通用
適用于高真空、半導體以及對管路潔凈度高要求場(chǎng)合
日本科賦樂(lè )內拋光系列質(zhì)量流量控制器
性能參數:
量程(N2) | 1SCCM-20SLPM |
精度 | ±1.0%FS |
重復性 | ±0.2%FS |
響應時(shí)間 | 1秒以?xún)?/p> |
耐壓 | 1.0Mpa |
進(jìn)口大壓力 | O.3Mpa |
動(dòng)作壓差 | 0.05-0.3Mpa |
泄漏率 | 1*10-11pa·m³/s以下 |
內拋光 | Ra≤0.1 |
溫度范圍 | 5-45℃ |
濕度范圍 | 10-90%RH(不能結露) |
材質(zhì) | 本體SUS316L |
密封圈SUS316L、PTFE | |
電氣接口 | DB9 |
模擬信號 | 0-5V輸入/輸出 |
供電 | +15VDC(±5%)100mA;-15VDC(±5%)100mA; |
管路連接 | 標配1/4UJR |
選配1/8UJR | |
重量 | 約1000g |
★使用注意
一:進(jìn)氣管道上建議安裝上的過(guò)濾器、油水分離器使用,保證氣體的干燥干凈《濕度不超過(guò)90%(一定不能進(jìn)水)、雜質(zhì)粉塵不超過(guò)20微米》。
二:用肥皂水對管路進(jìn)行泄漏檢測時(shí),只能將肥皂水噴灑在管路接頭上,不能?chē)娫趦x表或電氣插頭上。
三:安裝前,請將設備管路進(jìn)行整體吹掃。
四:耐壓1.0Mpa,進(jìn)口大壓力5公斤。
五:需要進(jìn)行零點(diǎn)漂移清零的時(shí)候,確認進(jìn)/出口沒(méi)流量沒(méi)壓力下 再操作。